Wo musste man noch gleich entlang laufen? Hier rechts – oder doch erst die nächste Abzweigung? Ein Blick auf das Smartphone hilft weiter: Verschiedene Apps blenden Strassenkarten ein und drehen die Karte passend zur Himmelsrichtung, sie norden sie ein. Ähnlich «schlau» sind Navigationsgeräte: Auch sie zeigen die richtige Richtung bereits an, bevor das Auto sich in Gang gesetzt hat. Möglich macht dies ein Magnetsensor. Er ermittelt, wie das Gerät zum Erdmagnetfeld gehalten wird. Der Markt ist heiss umkämpft: Beim Preis der Sensoren zählt jeder Cent. Die Hersteller setzen daher bislang auf mehrere günstige eindimensionale Sensoren. Der Nachteil: Sie sind weniger empfindlich und arbeiten nicht so präzise wie zweidimensionale Modelle.
Sensoren «aus einem Guss»
Künftig könnten jedoch auch kompakte zweidimensionale Sensoren den Weg in die Smartphones finden. Forscher vom Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme ENAS in Chemnitz haben das Herstellungsverfahren optimiert.
Der Grund für diesen Kostensturz liegt in der Produktionsweise: Die Wissenschaftler fertigen die Sensoren aus einem Materialstück – und damit gänzlich anders als bisher. Denn schon für einen eindimensionalen Sensor braucht man zwei mikroelektro- nische Halbbrücken, deren eingeprägte Magnetfelder in entgegengesetzte Richtungen zeigen. Da die Ausgangsmaterialien eine Magnetisierungsrichtung vorgeben, das Magnetfeld in ihnen also bereits ausgerichtet ist, musste man bislang zwei verschiedene Materialstücke zusammensetzen – eine aufwendige und somit teure Angelegenheit. Für zweidimensionale Sensoren brauchte es zwei solcher Halbbrücken beziehungsweise vier Materialstücke.
Sowohl die Vollbrücken als auch die zweidimensionalen Sensoren konnten die Forscher erstmals monolithisch – aus einem Stück – herstellen. Dazu scheiden sie auf einem Wafer ein Schichtmaterial ab und ätzen die gewünschte Struktur heraus. Der Clou liegt in der anschliessenden Laserbearbeitung: Mit ihm können die Wissenschaftler die magnetischen Vorzugsrichtungen nach Belieben einstellen.
Klein wie ein i-Tüpfelchen
Ein weiterer Vorteil: Der neue Sensor füllt nicht einmal einen Quadratmillimeter und ist damit nur etwa halb so gross wie bisherige Modelle. Je kleiner, desto mehr Anwendungen kommen für die Minichips in Frage. Beispielsweise bei Magnetfeldkameras, in denen sich zahlreiche Sensoren in mehreren Zeilen und Spalten befinden und Ma-gnetdaten aufnehmen. Will man eine hohe Auflösung erreichen, müssen die Sensoren möglichst klein sein – nur so passen sie dicht nebeneinander und stören sich nicht gegenseitig.
Die Magnetsensorik ist nicht auf Smartphones beschränkt. Vielmehr kommt sie überall dort zum Einsatz, wo unwirtliche Umgebungsbedingungen herrschen und andere Messverfahren versagen würden – etwa in Flüssigkeiten oder heissen Ölbädern. Auch im Auto sind sie zu finden, zum Beispiel in vollelektronischen Schalthebeln, wie sie bei neueren Fahrzeugen in der Mittelkonsole oder am Lenkrad eingebaut sind. Und in der medizinischen Diagnostik spüren sie Tropenkrankheiten sowie andere Viren und Bakterien auf.
Produktion startet in etwa einem Jahr
Prototypen der zweidimensionalen Magnetsensoren stellen die ENAS-Experten auf der Sensor + Test vom 19. bis 21. Mai 2015 in Nürnberg in Halle 12, Stand 531 und 537, vor. Bis die Sensoren tatsächlich in Produkten eingesetzt werden können, wird es allerdings noch etwa ein Jahr dauern.
Infoservice
Fraunhofer-Institut für Elektronische
Nanosysteme ENAS
Technologie-Campus 3, DE-09126 Chemnitz
Tel. 0049 371 450 01 203
www.enas.fraunhofer.de
